רזולוציה לטרלית EDS SEM

EDS הוא גלאי המספק מידע על הרכב כימי מקומי, מזהה קרינת X אופיינית. הניצולת עולה עבור אטומים כבדים יותר - זו שיטה מכוונת ועדיפה ליסודות כבדים. רגישות לא טובה לגילוי פחמן. נפח אינטרקציה גדול מאוד