גבול גילוי EDS -TEM

חלש - נפח אינטרקציה קטן ודגימה של פחות חומר. רגישות - להוריד סדר גודל לעומת SEM (בSEM:"עשירית אחוז ביום טוב ליסודות מרכז הטבלה. ביסודות כבדים אפילו מאית אחוז. ליסוד קל -אחוז")