הדמיית פני שטח ברזולוציה אטומית + אנליזת יסודות ננומטרית ברזולוציה אנרגתית גבוהה

לא סגורה על 2/4 כי הפיקים באוזה יחסית רחבים (לעומת XPS למשל) כי מעורבים בתהליך 3 אלקטרונים שיכולים להגיע מפיצולים שונים בתוךהרמה