קבלת פרופיל עומק בספקטרוסקופיית אוז'ה נעשה ע"י:

מה קשור אוז'ה למבנה פני השטח? לדעתי אמור להיות ניתוז ומדידה לסרוגין של ספקטרוסקופיה